基板载台机构

摘要

明涉及一种基板载台机构，其至少包含有一基座，且基座上设有一供选择性夹掣一基板之夹持座，另基座上表面于夹持座夹掣基板范围内设有一吸附单元，该吸附单元具有一顶面具真空吸力之吸盘，而该吸盘之直径小于或等于基板直径或最短对角线的四分之一，且不大于80mm，供该吸盘可选择性吸附基板之局部底部，再者吸附单元与夹持座间可具有相对之X轴、Y轴及Z轴的线性位移，藉此，基板载台机构因其吸盘相对基板的面积比例极小，有效克服基板翘曲的问题，在检查作业中，影像撷取不会因焦距误差，故不需要重覆进行检测，如此可提升检查作业的准确率及效率。

主权项

一种基板载台机构，其供承载一基板，至少包含有：一基座；一夹持座，其系设于基座上表面，且该夹持座可供选择性夹掣基板；一吸附单元，其具有一设于基座上表面、且于夹持座夹掣基板范围内之本体，又本体上设有一顶面具真空吸力之吸盘，而该吸盘之直径小于或等于基板直径或最短对角线的四分之一，且不大于80mm，供该吸盘可选择性吸附基板之局部底部，再者吸附单元与夹持座间可具有相对之X轴、Y轴及Z轴的线性位移。