用于在一基板上成长二元、三元及四元材料之方法与系统

摘要

明提供在基板上形成材料之方法及系统。方法态样涉及复数种蒸气反应物之受控引入至沈积室中，而于基板上形成具有均匀表面粗糙度、仿形度、厚度及组成的材料。系统态样包括蒸气进给组件、蒸气分布组件、容纳组件、及经组态以操作系统来实施方法的控制器。

主权项

一种用于在基板上沈积材料之系统，此系统包括：基板支撑组件，具有外部边缘；蒸气分布组件，包括复数个室，其中，各室系与一或多个喷嘴呈流体连接；蒸气进给组件，包括复数个蒸气输入管线，其中，各蒸气输入管线系经由包括阀的连接管线而与至少一个其他蒸气输入管线呈流体相通，且其中，各蒸气输入管线系经由包括阀的连接管线而与蒸气分布组件中的各个室呈流体相通；容纳组件，具有内壁且界定基板支撑组件上方之预反应空间，其中，该内壁系设置在远离基板支撑组件之外部边缘的距离处，且其中，该容纳组件包括复数个气体注射孔口，适于将吹净气体注入至容纳组件之内壁与基板支撑组件之外部边缘之间的空间中；控制器；处理器；及电脑可读媒体，包括：由处理器执行时、导致控制器执行下列工作的指令：操作阀且控制经进给至蒸气输入管线中之复数个蒸气输入中之各者的流率及分压；及调节预反应空间内之压力值，使得在预反应空间中在少于1秒内建立在目标分压下的蒸气反应物。