增加用于静电夹盘的气体效率

摘要

入口接收气体。气体的一部分系供应至静电夹盘。气体的一部分系通过压缩器再循环。气体的第二部分之压力系增加。气体的第二部分系储存于气体储存器中。

主权项

一种用以增加用于一静电夹盘之一背侧气体之效率的方法，包括以下步骤：通过一入口接收该气体；供应该气体的一第一部分至该静电夹盘；通过一压缩器再循环该气体的一第二部分。