发明名称 Lithographic Apparatus and Device Manufacturing Method
摘要 유체 온도 제어 및 센서 캘리브레이션이 개시된다. 일 실시예에서, 유체 온도 제어 유닛은 제 1 유체 경로 내의 제 1 유체를 가열하도록 구성된 히터, 상기 제 1 유체 경로 내의 제 1 유체의 온도를 측정하도록 구성된 제 1 온도 센서, 제 2 유체 경로 내의 제 2 유체의 온도를 측정하도록 구성된 제 2 온도 센서, 및 상기 제 1 센서에 의해 감지된 온도 및 상기 제 2 센서에 의해 감지된 온도에 기초하여 상기 히터를 제어하도록 구성된 제어기를 포함한다.
申请公布号 KR101620930(B1) 申请公布日期 2016.05.16
申请号 KR20110112045 申请日期 2011.10.31
申请人 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 发明人 마르텐스, 아르얀 후브레흐트 요제프 안나;크라머, 피터르 야콥
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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