电浆处理装置及气体供给构件

摘要

明之课题在于提高沿着被处理基板径向之蚀刻速率之控制性。

主权项

一种电浆处理装置，具备有：处理容器；支撑构件，设置于该处理容器之内部，支撑被处理基板；以及气体供给构件，系使得：形成有将电浆处理该被处理基板之处理气体导入该处理容器之内部的气体供给孔之第1区域、未形成该气体供给孔之第2区域、以及形成有该气体供给孔之第3区域从该被处理基板之中心侧起沿着该被处理基板之径向依序受到配置。