发明名称 Apparatus for testing semiconductor chip having built-in test function
摘要 본 발명은 자체 진단 기능이 내장된 반도체 소자를 시험하는 장치로서, 반도체 소자의 기능을 수행하는 다수의 기능블록들 사이에 삽입되어, 상기 기능블록들에 오류 신호를 입력하는 다수의 오류 생성기와, 반도체 소자의 외부 입출력 핀을 통해 상기 오류 생성기를 제어하고, 상기 기능블록들의 출력 신호를 모니터링하여, 반도체 소자의 자체 진단 기능을 확인하는 외부 오류제어기를 포함하여 이루어지고, 상기 오류 생성기는 상기 외부 오류제어기로부터 제1 오류제어신호를 받아 상기 오류 생성기의 동작 여부를 결정하는 제어부와, 상기 외부 오류제어기로부터 제2 오류제어신호를 받아 오류 생성기가 생성할 오류패턴에 대한 정보인 오류코드 신호를 상기 제어부로 전송하는 오류코드 수신부와, 다수의 오류패턴을 저장하고 있으며, 상기 제어부로부터 오류코드 신호를 입력받아 오류코드에 해당하는 오류패턴을 출력하는 오류패턴 저장부와, 상기 제어부로부터의 선택신호에 따라, 상기 기능블록으로부터의 기능신호와 상기 오류패턴 저장부로부터의 오류패턴 신호 중 하나를 출력하는 출력 선택부 포함하고, 상기 외부 오류제어기로부터의 제2 오류제어신호는 오류코드 신호, 클록신호 및 유효신호를 포함하여, 반도체 소자에 내장된 오류 검출 기능을 정확하게 검증할 수 있다.
申请公布号 KR101619741(B1) 申请公布日期 2016.05.13
申请号 KR20140192789 申请日期 2014.12.30
申请人 주식회사 아이에이 发明人 배정양
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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