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Dargestellt und beschrieben ist eine, Vorrichtung mit einer beweglichen Aufnahme (3), wobei die Aufnahme (3) in einer Vakuumkammer (1) angeordnet werden kann, mit einer Manipulatorkammer (9), mit einer Vakuumquelle (49), die mit der Manipulatorkammer (9) verbunden und ausgestaltet ist, in der Manipulatorkammer (9) einen Unterdruck zu erzeugen, mit einer sich von der Manipulatorkammer (9) erstreckenden Balganordnung (19), die ein fest an der Manipulatorkammer (9) angebrachtes erstes Ende (21) und ein freies Ende (23) aufweist, das durch ein Endelement (29) vakuumdicht abgeschlossen ist, wobei die Aufnahme (3) auf der von der Manipulatorkammer (9) abgewandten Seite des Endelements (29) an diesem angebracht ist, wobei die Balganordnung (19) derart ausgestaltet ist, dass das freie Ende (23) relativ zu dem ersten Ende (21) bewegt werden kann, wobei die Manipulatorkammer (9) einen die Balganordnung (19) umgebenden Anschlussflansch (11) aufweist, mit einer in der Manipulatorkammer (9) angeordneten Manipulatoreinrichtung (33), die ein Ausgangselement (41) aufweist, wobei die Manipulatoreinrichtung (33) ausgestaltet ist, ein freies Ende (43) des Ausgangselements (41) entlang dreier senkrecht zueinander verlaufender Achsen zu bewegen, und wobei das freie Ende (43) des Ausgangselements (41) mit dem Endelement (29) verbunden ist. |
