Kombination aus Getterpumpe und Kaltkathodendruckmesspumpe

摘要

Vakuumpumpe (100) zum Pumpen von Medium aus einem zu evakuierenden Raum (102), wobei die Vakuumpumpe (100) eine Pumpkammer (106), eine Getterpumpe (104) an und/oder in der Pumpkammer (106) zum Aufnehmen von Medium aus dem zu evakuierenden Raum (102), und eine mit der Getterpumpe (104) wirkgekoppelte Kaltkathoden-Druckmesspumpe (108) zum Messen eines Drucks in der Pumpkammer (106) und zum zusätzlichen Aufnehmen von Medium aus dem zu evakuierenden Raum (102) aufweist.