发明名称 投影システム
摘要 本発明は、対象物(200)の寸法測定のための度量衡システム(100)であって、画像(112)を対象物(200)上に投影するように構成された光投影デバイス(110)、LPDと、測定容積を有する、測定容積内に配設されたLPD(110)の位置および/または配向を決定するように構成された、位置測定デバイス(120)、PMDと、対象物(200)の寸法データを取得するように構成された、LPDに剛性に取り付けられた光学式非接触プローブである、寸法取得デバイス(140)、DADと、投影された画像(112)を、対象物(200)に関連して本質的に静的な外観を有するように調整するように構成された調整ユニット(130)であって、調整が、PMD(120)によって検出された、LPD(110)の移動に対応する、調整ユニット(130)とを備え、LPD(110)によって投影された画像が、DAD(140)による寸法取得に対応してフィードバック情報をユーザに伝える、度量衡システム(100)に関する。
申请公布号 JP2016513257(A) 申请公布日期 2016.05.12
申请号 JP20150558486 申请日期 2014.02.24
申请人 ニコン メトロロジー エン ヴェー 发明人 シールマンス ハンス
分类号 G01B11/00;G01B21/00;G01B21/22 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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