| 发明名称 |
マンガン含有化合物、その合成及びマンガン含有膜の堆積へのその使用 |
| 摘要 |
マンガン含有化合物、その合成及びマンガン含有膜の堆積へのその使用を開示する。開示のマンガン含有化合物は式（Ｉ）、式（ＩＩ）を有する：【化１】（式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は各々独立して水素、又は直鎖、環状若しくは分岐炭化水素から選択されるが、ただしＲ１、Ｒ２及びＲ３はＲ１＝Ｒ２＝Ｒ３である場合にＣ３〜Ｃ４炭化水素基であり、Ｒ４及びＲ５は各々独立して直鎖、環状又は分岐炭化水素基から選択される）。【選択図】なし |
| 申请公布号 |
JP2016513087(A) |
申请公布日期 |
2016.05.12 |
| 申请号 |
JP20150555838 |
申请日期 |
2014.01.31 |
| 申请人 |
レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード |
发明人 |
ガティノ 論子 |
| 分类号 |
C07F19/00;C07F13/00;C23C16/18;H01L21/285 |
主分类号 |
C07F19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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