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[Problem] Ein Verfahren zum Herstellen eines polierten Objekts bereitzustellen, das einen Trübungsgrad auf einer Oberfläche des zu polierenden Objekts außergewöhnlich verringern kann, während Defekte erheblich verringert werden. [Lösung] Ein Verfahren zum Herstellen eines polierten Objekts, das einen Schritt zum doppelseitigen Polieren, in dem ein zu polierendes Objekt einem doppelseitigen Polieren mithilfe eines Mittels zum doppelseitigen Polieren unterzogen wird, das erste Schleifkörner, die einen mittleren Primärteilchendurchmesser von 40 nm oder mehr aufweisen, und ein stickstoffhaltiges, wasserlösliches Polymer beinhaltet, so dass ein doppelseitig poliertes Objekt gewonnen wird; und einen Schritt zum einseitigen Polieren beinhaltet, in dem das doppelseitig polierte Objekt einem einseitigen Polieren mithilfe eines Mittels zum einseitigen Polieren unterzogen wird, das zweite Schleifkörner, die einen mittleren Primärteilchendurchmesser von 40 nm oder weniger aufweisen, und ein wasserlösliches Polymer beinhaltet, und wobei ein Verhältnis eines mittleren Primärteilchendurchmessers (B) der zweiten Schleifkörner im Hinblick auf einen mittleren Primärteilchendurchmesser (A) der ersten Schleifkörner (A)/(B) mehr als 1 und 2,5 oder weniger beträgt. |
