SEMICONDUCTOR ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT

摘要

본 발명은, 간이하고 또한 저비용으로 제조할 수 있고, 큰 터널 전류가 얻어져, 우수한 동작 특성을 갖는 반도체 소자 및 그의 제조 방법, 그리고 상기 반도체 소자를 갖는 반도체 집적 회로를 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명의 반도체 소자는, 아이소일렉트로닉 트랩 형성 불순물을 포함하는 간접 전이형 반도체의 반도체 영역으로 터널 접합의 전체 또는 일부가 구성되는 것을 특징으로 한다.