Plate heater for high temperature baking apparatus

摘要

본 발명은 고온 베이킹 장치에서 열변형 방지 열선고정과 전원인가 기능을 하는 단자대를 채용한 기판히터관한 것으로서, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판을 가열하는 기판히터에 열선을 부착함에 있어서 고온에서 장시간 가열시 발생하는 열팽창에 의해 단자대의 열선고정이 느슨하게 되는 현상 및 단자대의 뒤틀림 현상을 방지하는 열선고정과 전기인가를 동시에 하는 단자대를 채용한 기판히터를 공급하는 것이다.