摘要 |
本発明は、関連物体の上に電磁放射を射出するマイクロデバイス(100)に関する。このマイクロデバイスに対して、3次元の並進運動と、少なくとも2つの軸、好ましくは3つの軸の回りの回転運動とに関する同時非接触の空間的制御が可能である。このマイクロデバイスは、さらに、電磁放射を前記関連物体の上に射出するように構成されるナノワイヤ(150)を含む。これは、ナノワイヤを含むマイクロデバイスのより良好な空間的制御を実現する場合に有利であり、これによって、光をさらに効果的にナノワイヤの中に結合できるようになる。これは、改善された空間的制御のために、光学系におけるナノワイヤのさらに広範な応用を拡大する。 |