| 摘要 |
Es wird ein Elektronenmikroskop beschrieben, bei dem ein Detektor, an den eine Spannung angelegt werden muß, zum Erhalten einer Mikrofotographie von einer Probe verwendet wird, die sich in einer Gasatmosphäre befindet. Das Elektronenmikroskop ist mit einer Gaseinlaßvorrichtung zur Abgabe von Gas auf die Probe versehen, und eine Gassteuervorrichtung steuert die Gasmenge, die von der Gaseinlaßvorrichtung abgegeben wird, derart, daß während der Gasabgabe durch die Gaseinlaßvorrichtung der Vakuumgrad in dem Raum mit dem Detektor (49–51, 55) kontinuierlich auf kleiner als ein eingestellter Wert gehalten wird. |
