フォトレジスト除去用ストリッパ組成物およびこれを用いたフォトレジストの剥離方法

摘要

本発明は、生殖毒性を示すＮ−メチルホルムアミドまたはＮ，Ｎ’−ジメチルカルボキサミドなどを含まないながらも、優れた剥離力およびリンス力を示すことができ、経時的な物性の低下を最小化することができるフォトレジスト除去用ストリッパ組成物およびこれを用いたフォトレジストの剥離方法に関するものである。前記フォトレジスト除去用ストリッパ組成物は、１種以上のアミン化合物；Ｎ，Ｎ’−ジエチルカルボキサミド；およびアルキレングリコールまたはアルキレングリコールモノアルキルエーテルのプロトン性有機溶媒を含む。