| 摘要 |
作動式弁及びセンサモジュールを含む弁組立体が開示される。作動式弁は、チャンバを定める本体、チャンバに結合された第１の流体ポート、及びチャンバに結合された第２の流体ポートを有する。作動式弁は、少なくとも部分的にチャンバ内に設けられていてチャンバに対して閉鎖位置及び開放位置を有する可動ステムと、可動ステムに結合されたアクチュエータとを更に有する。センサモジュールは、作動式弁に取り付けられており、このセンサモジュールは、マイクロコントローラと、マイクロコントローラに結合された少なくとも１つのセンサとを含み、少なくとも１つのセンサは、作動式弁の状態と関連した信号を提供する。【選択図】図３ |
