Lockin-Thermographie-Verfahren und System zur Hotspot-Lokalisierung

摘要

Ein Verfahren zum Lokalisieren eines Hotspots (27) in einer Probe (12), insbesondere einem eingekapselten Bauteil unter Test (DUT) unter Verwendung von Lockin-Thermographie (LIT), wobei wenigstens eine Wärmequelle (23) einer elektrischen Schaltung in der Probe (12) vergraben ist und den Hotspot (27) auf einem Stromfluss darin erzeugt hat, umfasst das Anlegen eines nicht-harmonischen Anregungswellen-Testsignals bei einer Lockin-Frequenz an die elektrische Schaltung der Probe (12), um die Wärmequelle (23) zur Erzeugung des Hotspots (27) zu aktivieren, das Abbilden der Probe (12) unter Verwendung eines Infrarotsensors (16), um ein IR-Bild der Probe (12) zu erhalten, während das nicht-harmonische Testsignal an die elektrische Schaltung angelegt ist; und das Detektieren eines thermischen Antwortsignals, welches aus der Bilderzeugung erhalten wurde, wobei das thermische Antwortsignal in Korrelation mit der thermischen Wärmeausbreitung in der Probe (12) steht. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Anlegen des nicht-harmonischen Testsignals das Anlegen eines nicht-harmonischen Signals bei einer einzigen ausgewählten Frequenz umfasst; dass das thermische Antwortsignal einer Fourier-Transformation (FT) unterworfen wird, um das thermische Antwortsignal in ein Frequenzspektrum zu zerlegen, welches harmonische Signale eines Basis- oder höher-harmonischen Signals enthält, um dadurch eine Vielzahl von frequenzspezifischen Antwortsignalen bei mehrfachen spezifischen Frequenzen zu erhalten; dass die Phasenverschiebungen von jedem der frequenzspezifischen Antwortsignale erhalten wird; dass eine Frequenz-gegen-Phasenverschiebungskurve aus den Phasenverschiebungen der frequenzspezifischen Antwortsignale erhalten wird; und dass eine Vielzahl von Bildern, die jeweils einer der spezifischen Frequenzen entsprechen, angezeigt werden.