一种用于光学平面抛光机床的液体静压轴承

摘要

本发明公开了一种用于光学平面抛光机床的液体静压轴承，主要用于超精密加工的抛光机床的旋转轴承，也可用作类似机床的旋转轴承。其主要技术方案：一个圆凸台转盘与中转盘连接，形成一个转动体，转动体和抛光盘相连接，中转盘安装在下压盘和L形轴承底座之间的柱形空间中，中转盘在空间的两侧面留有间隙，以便通过液压油，形成液压摩擦副。本发明试用证明：从根本上克服了原平面抛光机床不适应加工高精度光学元件，生产效率偏低的现象。达到能够对各种平面光学元件的超精密加工，有效地提了生产效率，降低成本，满足大批量生产的需求。

主权项

一种用于光学平面抛光机床的液体静压轴承，含抛光盘（1）、Y形密封圈（14）、减速器（16）、齿形带轮（17），其特征在于：液体静压轴承由抛光盘（1）、下压盘（2）、内六角螺栓（3）、过渡盘（4）、圆凸台转盘（6）、螺钉（7）、齿形连轴器（8）、轴承套（9）、调心球轴承（10）、环形压板（11）、中转盘（12）、液压油（13）、Y形密封圈（14）、轴承底座（15）、减速器（16）、齿形带轮（17）组成，具体结构：Ⅰ、圆凸台转盘（6）通过均布的二十四颗螺栓（3）与中转盘（12）连接，形成一个转动体，转动体通过销和螺钉和过渡盘（4）、抛光盘（1）相连接，中转盘（12）安装在下压盘（2）和L形轴承底座（15）之间的柱形空间中，中转盘（12）在空间的两侧面留有0.04mm的间隙，以便通过液压油（13），形成液压摩擦副，在圆凸台转盘（6）的凸台外圆周边安装Y形密封圈（14）并通过环形压板（11）固定压紧；Ⅱ、调心球轴承（10）、轴承套（9）组成转动体的轴心部分，轴心部分通过八颗均布的螺钉（7）与圆凸台转盘（6）连接，轴承套（9）上开有内齿形，与减速器（16）上的外齿形组成齿形连轴器（8）。