电感耦合等离子体处理装置及其加热部件

摘要

本发明提供一种电感耦合等离子体处理装置及其加热部件，用于改善甚至是完全避免绝缘窗上方的电热丝对感应线圈解离等离子体作用的削弱。其中，所述加热部件用来对反应腔室顶部的绝缘窗进行温度控制，所述加热部件包括设置在所述绝缘窗的上表面的电热丝，所述电热丝整体呈中心对称，所述电热丝具有用于与加热电源电性连接以形成回路的两个接点；所述电热丝环绕形成多个图形，每一图形和与该图形中心对称的图形中的加热电流方向相反。

主权项

一种电感耦合等离子体处理装置，包括：反应腔室，所述反应腔室的顶部设置有一绝缘窗；加热部件，所述加热部件包括设置在所述绝缘窗的上表面的电热丝，所述电热丝整体呈中心对称，所述电热丝具有用于与加热电源电性连接以形成回路的两个接点；所述电热丝环绕形成多个图形，每一图形和与该图形中心对称的图形中的加热电流方向相反；感应线圈，所述感应线圈设置在所述电热丝的上方，并与射频电源电性连接；所述感应线圈产生的电磁场于所述每一图形所在区域内的磁通量，于与该图形中心对称的图形所在区域内的磁通量，两者总是相等。