| 发明名称 | 用于控制气体供应的方法和控制器 | ||
| 摘要 | 提供一种用于控制对工艺腔室(301)的气体供应的方法(200)。此方法(200)包括以下步骤：由在工艺腔室(301)中提供的两个或更多个传感器(35、36、313、314)中的每一个测量(210)气体参数；从所测量的气体参数确定(220)组合的气体参数；以及基于所确定的组合的气体参数来控制(230)对工艺腔室(301)的气体供应。 | ||
| 申请公布号 | CN105580103A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201380079751.0 | 申请日期 | 2013.09.24 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | F·施纳朋伯格;A·赫尔米希;T·科奇;T·德皮施 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种用于控制对工艺腔室(301)的气体供应的方法(200)，所述方法包括以下步骤：由在所述工艺腔室(301)中提供的两个或更多个传感器(35、36、313、314)中的每一个测量(210)气体参数；从所测量的所述气体参数确定(220)组合的气体参数；以及基于所确定的所述组合的气体参数来控制(230)对所述工艺腔室(301)的所述气体供应。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||