一种多层石墨烯污点检测系统

摘要

本实用新型涉及一种多层石墨烯污点检测系统，包括：控制单元和分别与控制单元相连的扫描单元、操作单元、拍照单元、及真空单元、图像处理单元。利用激光被折射的原理对石墨烯上的污点进行检测，具有较高的准确性，采用聚合性更好的激光进行逐一扫描具有更强的精确性和防错性，激光传感器采集激光信号，有控制单元分析，其不透光的特性能够便于试验，具有防止其他光的干扰而影响测试结果；其鼓风器能够对该密闭空间进行清扫，避免空气中的尘埃掉落到待检测的石墨烯上，影响检测的准确性。

主权项

一种多层石墨烯污点检测系统，其特征在于，多层石墨烯污点检测系统的控制系统包括：控制单元，包括控制器；扫描单元，包括扫描机构，扫描机构包括激光器、升降器，激光器包括一扁平激光发生器、一圆头激光发生器及凹形的激光接收槽、及设于激光接收槽内侧的若干激光传感器；激光器升降至指定位置后，带形激光器产生宽为1mm、厚度为10um的偏平激光，激光经石墨烯反射后由激光接收槽内指定区域的激光传感器接收；非指定区域内的激光传感器接收到激光或指定区域内的激光传感器接收到的激光强度变化超过设定值时，则打开圆头激光发生器产生半径为10um的柱形激光，柱形激光沿带形激光的宽度方向扫描，柱形激光经石墨烯和反射镜反射激光传感器上，便于计算出石墨烯上带污点的位置；操作单元，包括移动台和上设置在移动台上的固定器和反射镜，移动台上设置有横向移动器和纵向移动器，移动台及光屏与控制器电连接；固定器用于固定石墨烯，反射镜设于石墨烯下方，光屏设于固定器的侧边，用于产生单色光；移动台移动时，使设于固定器上的石墨烯水平移动，反射激光至激光传感器；拍照单元，包括拍照机构，拍照机构包括照相机、设于照相机镜头处的伸缩装置、及可移动的放大镜、及光屏；放大镜可移动至伸缩装置前端，便于拍照；反射光屏产生的单色光由照相机拍照；真空单元，包括密封罩、抽真空器及鼓风器；抽真空器包括真空电机、出气口、抽气口和设置在出气口与抽气口之间的单向阀；鼓风器包括氮气罐、电磁阀、及鼓风头，鼓风头由控制器控制转动；在抽气口处还通过电磁阀连接有氮气罐；密封罩配合机架将扫描单元、操作单元、及拍照单元密封；图像处理单元，用于对拍照单元采集到的图片进行图像处理；控制单元分别与扫描单元、操作单元、拍照单元、及真空单元、图像处理单元相连，并用于控制各单元。