| 主权项 |
一种基板翻转装置，其系使基板翻转者，且包括：支持机构，其系将复数个基板以呈水平姿势于上下方向上隔开间隔地叠层之状态支持；及夹持翻转机构，其夹持由上述支持机构支持之上述复数个基板之各者，使上述复数个基板一次翻转；上述夹持翻转机构包括：一对夹持构件，其将上述复数个基板之各者自两端缘部夹持；夹持构件驱动部，其使上述一对夹持构件之各者于该夹持构件之一部分接近或抵接于基板之侧面之接近位置与上述夹持构件自上述侧面离开之离开位置之间移动；弹性构件，其将配置于上述接近位置之上述夹持构件朝向上述基板之侧面弹性施力；及开闭检测部，该开闭检测部系检测上述一对夹持构件之各者是否位于上述离开位置与上述接近位置之任一位置；上述支持机构包括：复数个支持构件，其将上述复数个基板之各者自其下表面侧支持；及支持构件驱动部，其使上述复数个支持构件之各者于该支持构件之一部分抵接于基板之下表面之支持位置、与上述支持构件自上述下表面离开之待避位置之间移动；上述支持构件驱动部系使上述复数个支持构件之各者自上下方向观察时远离上述基板之中心并向下方移动，而使该支持构件自上述支持位置移动至上述待避位置。
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