用于处理制程系统中之排放气体的方法与设备

摘要

提供用于处理基材制程系统之前端管路中之排放气体的方法与设备。在一些实施例中，一种用于处理基材制程系统之前端管路中之排放气体的设备，包含：一电浆源，其耦合至制程腔室的前端管路；一试剂源，其耦合至电浆源之上游的前端管路；以及一前端管路气体注入套组，其耦合至前端管路以可控制地输送气体至前端管路，其中前端管路注入套组包括：一压力调节器，以设定前端管路气体输送压力设定点；以及一第一压力计，其经耦合以监视前端管路之上游之气体的一输送压力。

主权项

一种用于处理基材制程系统之排放导管中之排放气体的设备，该设备包含：一电浆源，其耦合至一制程腔室的一排放导管；一试剂源，其耦合至该电浆源之上游的该排放导管；以及一气体注入套组，其耦合至该排放导管，以可控制地输送一气体至该排放导管，藉此控制排放导管压力，其中该气体注入套组包括：一压力调节器，用以设定一气体输送压力设定点；一第一压力计，用以监视该排放导管之上游之该气体的输送压力。