用以形成电阻器之方法及电阻式发热装置

摘要

方法及装置提供电气连接至导电迹线之电阻器。

主权项

一种用以形成电阻器之方法，其包含：于一结构上执行一第一蚀刻以形成一电阻器；以及于该结构上执行一第二蚀刻以形成电气连接至该电阻器之一导电迹线，其特征在于：该第一蚀刻移除在一导电材料层上方的一电阻材料层之一些部分，而未完全移除该导电材料层在该电阻材料层之被移除部分下方之部分，且其中该第二蚀刻移除该导电材料层之一些部分以形成该导电迹线。