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发明名称 電子ビーム加工機及びその電子ビーム加工機の調整方法
摘要
申请公布号 JP5916568(B2) 申请公布日期 2016.05.11
申请号 JP20120195638 申请日期 2012.09.06
申请人 三菱電機株式会社 发明人 石見 泰造;竹川 一郎;吉川 利幸
分类号 H01J37/305;B23K15/00;H01J37/147;H01J37/315 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
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