一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构及其调节方法

摘要

本发明一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构，包括安装在真空腔体外壁上的第一转动手柄和第二转动手柄、安装在真空腔体内部的传动机构；本发明还包括一种基于上述机构的调节方法，该方法可在大气状态下调节安装在腔体外壁上的转动手柄，通过传动机构传递牵引真空腔体内部活动挡板前后移动从而达均匀性要求，同时根据均匀性变化及时调整，实施简单快捷且效果显著。

主权项

一种镀膜膜层厚度即时可调挡板机构，其特征在于包括安装在真空腔体外壁上的第一转动手柄（A）和第二转动手柄（B）、安装在真空腔体内部的传动机构；所述传动机构包括与所述第一转动手柄（A）依次传动连接的第一齿轮（A1）、第二齿轮（A2）、第一传动轴（1）及第三齿轮（A3）；与第二转动手柄（B）依次传动连接的第五齿轮（B1）、第六齿轮（B2）、第二传动轴（2）及第七齿轮（B3）；以及齿轮箱；所述齿轮箱上安装有齿轮箱第一齿轮（A4）、齿轮箱第二齿轮（B4）、齿轮箱内部齿条轴（4）及挡板（5）；所述齿轮箱第一齿轮（A4）与所述第三齿轮（A3）传动连接；所述齿轮箱第二齿轮（B4）与所述第七齿轮（B3）传动连接；所述齿轮箱第一齿轮（A4）转动带动齿轮箱内部齿条轴（4）前后移动，所述齿轮箱内部齿条轴（4）上连接挡板（5）。