| 发明名称 | 曝光机的UV能量调整装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种曝光机的UV能量调整装置，包含UV能量传感器及移动机构，移动机构驱动UV能量传感器移动，UV能量传感器感测曝光机的平面光源的UV-LED的照射能量，UV-LED用以照射曝光对象；UV能量调整部，连接UV-LED、UV能量传感器及移动机构以调整UV-LED的照射能量为相同。因此，本实用新型可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率。 | ||
| 申请公布号 | CN205229668U | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201521099414.0 | 申请日期 | 2015.12.22 |
| 申请人 | 志圣工业股份有限公司 | 发明人 | 王启毓;张永裕 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人 | 刘云贵;王东 |
| 主权项 | 一种曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，包含：UV能量感测部，其具有UV能量传感器及至少一个移动机构，该移动机构驱动该UV能量传感器移动，该UV能量传感器用以感测该曝光机的平面光源的多个UV‑LED的照射能量，上述UV‑LED用以照射曝光对象；以及UV能量调整部，其连接上述UV‑LED、该UV能量传感器及该移动机构，以调整上述UV‑LED的照射能量为相同。 | ||
| 地址 | 中国台湾新北市 | ||