| 发明名称 | 翻转机构及应用其以翻转多个基板之输送系统 | ||
| 摘要 | 用以翻转多个基板之输送系统包括：一输送单元；以及一翻转机构，包括：一枢轴；以及多个翻转单元，沿该枢轴之一旋转方向依序排列连接；其中该翻转机构之两侧分别具有一第一承接区域与一第二承接区域，该些翻转单元沿该旋转方向旋转，以吸嘴吸附至少一矽基板，将该至少一矽基板由该第一承接区域移动至该第二承接区域。 | ||
| 申请公布号 | TWM521805 | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | TW104220828 | 申请日期 | 2015.12.25 |
| 申请人 | 茂迪（苏州）新能源有限公司 | 发明人 | 顾海泽;谢君霞;刘昌杰 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 陈瑞田 | |
| 主权项 | 一种翻转机构，包括：一枢轴；多个翻转单元，沿该枢轴之一旋转方向排列，并连接于该枢轴；以及多个吸嘴，设置于该些翻转单元上；其中该翻转机构之两侧分别具有一第一承接区域与一第二承接区域，该些翻转单元沿该旋转方向旋转，以吸嘴吸附至少一矽基板，将该至少一矽基板由该第一承接区域移动至该第二承接区域。 | ||
| 地址 | 中国 | ||