发明名称 リソグラフィ装置、セットポイントデータを提供する装置、デバイス製造方法、セットポイントデータを提供する方法、およびコンピュータプログラム
摘要 An apparatus or method to calculate target dose values of a plurality of radiation beams at a plurality of different times in order to form a desired dose pattern on a target, each target dose value defining the dose distribution of a spot exposure formed by the radiation beam to which the target dose value is applied, wherein a nominal position of a characteristic point in the dose distribution of each of the spot exposures lies at a point of a spot exposure grid, and to provide target dose values at the resolution of the spot exposure grid by calculating target dose values at grid points on a lower resolution grid, the lower resolution grid having a resolution lower than the spot exposure grid, and for each of the calculated target dose values, deriving a target dose value at each of a plurality of points in the spot exposure grid.
申请公布号 JP5916895(B2) 申请公布日期 2016.05.11
申请号 JP20140551550 申请日期 2012.12.13
申请人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 发明人 ロープストラ、エリク;フークス、マルティヌス
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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