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经营范围
发明名称
感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
摘要
申请公布号
JP5915327(B2)
申请公布日期
2016.05.11
申请号
JP20120078020
申请日期
2012.03.29
申请人
ＪＳＲ株式会社
发明人
佐藤 光央;中村 真一;池田 憲彦
分类号
G03F7/039;C08F20/12
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
地址
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