发明名称 |
一种大口径抽除氙气低温泵 |
摘要 |
本发明公开了一种大口径抽除氙气低温泵。使用本发明能够实现对氙气的大抽速抽除,且耐溅射、无油蒸汽污染。本发明包括低温制冷机、吸附阵、热沉、防辐射屏、泵壳、障板、障板测温元件、吸附阵测温元件和一级冷屏。其中,吸附阵由多个长方形壳体组成,长方形壳体的上下表面开放,长方形壳体的侧面设有翅片;障板固定安装在低温泵口处的热沉上,为板状结构,且障板的垂直方向对吸附阵实现一次光学屏蔽,障板表面喷涂有石墨涂层。本发明能够以普通低温泵1.5倍的抽速抽除氙气,且无污染,耐溅射,适用于高温等离子体的恶劣环境,且可以采用通液氮或者是机械制冷工质进行冷却,降低成本。 |
申请公布号 |
CN105041609B |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
申请号 |
CN201510419303.1 |
申请日期 |
2015.07.16 |
申请人 |
兰州空间技术物理研究所 |
发明人 |
柏树;颜昌林;杨建斌;刘玉魁 |
分类号 |
F04B37/08(2006.01)I;F04B39/06(2006.01)I |
主分类号 |
F04B37/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
付雷杰;杨志兵 |
主权项 |
一种大口径抽除氙气低温泵,其特征在于,包括低温制冷机(1)、吸附阵(2)、热沉(3)、防辐射屏(4)、泵壳(5)、障板(6)、障板测温元件(7)、吸附阵测温元件(8)和一级冷屏(9);其中,低温制冷机(1)为二级低温制冷机,通过法兰安装在泵壳(5)上,并与泵壳(5)之间设有橡胶密封圈;吸附阵(6)安装在低温制冷机(1)的二级冷头上,吸附阵(2)由多个长方形壳体组成,长方形壳体的上下表面开放,长方形壳体的侧面设有翅片;吸附阵(2)上安装有测温元件(8);一级冷屏(9)固定安装在低温制冷机(1)的一级冷头上,表面发黑处理;热沉(3)安装在泵壳(5)上;障板(6)固定安装在低温泵口处的热沉上,为板状结构,且障板的垂直方向对吸附阵(2)实现一次光学屏蔽,障板(6)表面喷涂有石墨涂层,障板测温元件(7)安装在障板(6)上。 |
地址 |
730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 |