发明名称 耐热性树脂膜及其制造方法、加热炉及图像显示装置的制造方法
摘要 本发明涉及一种耐热性树脂膜,其在氦气流下于450℃加热30分钟期间产生的排出气为0.01~4μg/cm<sup>2</sup>。本发明还涉及一种耐热性树脂膜的制造方法,所述制造方法包括:在支承体上涂布含有耐热性树脂的前体的溶液的工序;和通过多个阶段进行加热的工序,所述制造方法的特征在于,所述通过多个阶段进行加热的工序至少依次包括:(A)第1加热工序,在氧浓度为10体积%以上的气氛下,以高于200℃的温度进行加热;(B)第2加热工序,在氧浓度为3体积%以下的气氛下,以比第1加热工序高的温度进行加热。
申请公布号 CN105579500A 申请公布日期 2016.05.11
申请号 CN201480053341.3 申请日期 2014.09.22
申请人 东丽株式会社 发明人 宫崎大地;富川真佐夫
分类号 C08J5/18(2006.01)I;C08G73/10(2006.01)I;C08L79/08(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 C08J5/18(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 杨宏军;马妮楠
主权项 一种耐热性树脂膜,其在氦气流下于450℃加热30分钟期间产生的排出气为0.01~4μg/cm<sup>2</sup>。
地址 日本东京都