| 发明名称 | 薄膜晶体管的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种薄膜晶体管的制作方法，所述薄膜晶体管的制造方法包括：提供承载体，所述承载体包括相对设置的第一表面及第二表面；在所述承载体的第一表面上形成间隔设置的光阻单元，相邻的光阻单元之间形成间隙且露出部分第一表面；沉积金属，通过所述间隙露出的第一表面上形成金属层，其中，所述金属层为遮光层、栅极、源极、漏极、存储电极中的任意一种或多种；剥离所述光阻单元。本发明能够减小薄膜晶体管的制作的时间周期。 | ||
| 申请公布号 | CN105575817A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201510951852.3 | 申请日期 | 2015.12.17 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 吕明仁 |
| 分类号 | H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/336(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述薄膜晶体管的制造方法包括：提供承载体，所述承载体包括相对设置的第一表面及第二表面；在所述承载体的第一表面上形成间隔设置的光阻单元，相邻的光阻单元之间形成间隙且露出部分第一表面；沉积金属，通过所述间隙露出的第一表面上形成金属层，其中，所述金属层为遮光层、栅极、源极、漏极、存储电极中的任意一种或多种；剥离所述光阻单元。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||