プラズマ処理装置,申请号JP20120094153-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	プラズマ処理装置
摘要
申请公布号	JP5914129(B2)	申请公布日期	2016.05.11
申请号	JP20120094153	申请日期	2012.04.17
申请人	株式会社アルバック	发明人	吉元剛;細矢東豪;楊一新;三橋善之;斎藤和彦
分类号	H05H1/46;C23C16/509	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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