| 发明名称 | 运用于化学机械抛光工艺中的保持环的轮廓及表面制备的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种用于在保持环上形成牺牲表面的固定装置包括：固定板，所述固定板被定尺寸以实质匹配所述保持环的外径；以及夹紧装置，所述夹紧装置适于提供侧向负载至所述保持环的下部部分的内径侧壁或外径侧壁之一。 | ||
| 申请公布号 | CN105563306A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201510717954.9 | 申请日期 | 2015.10.29 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 大卫·理之·石川;吴正勋;加勒特·何·易·施;查尔斯·C·加勒森;张焕波;裴嘉定;尼拉吉·普拉萨德;朱利奥·大卫·穆斯基斯 |
| 分类号 | B24B37/32(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/32(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于抛光工艺的保持环，所述保持环包括：环形主体，所述环形主体包括上部部分和下部部分；以及牺牲表面，所述牺牲表面设置在所述下部部分上，所述牺牲表面包括倒锥形表面，所述倒锥形表面具有约0.0003英寸至约0.00015英寸的锥高。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||