| 发明名称 | 夹具组件 | ||
| 摘要 | 根据本发明，提供了一种用于在等离子体加工室中将基底的外周部分夹紧到支撑件上的夹具组件，所述等离子体加工室为射频(RF)偏压功率在所述基底的等离子体加工期间被应用到所述支撑件上的类型的等离子体加工室，所述夹具组件包括：外部夹具构件；以及内部夹具构件，所述内部夹具构件由所述外部夹具构件容纳，所述内部夹具构件限定了将基底暴露于等离子体加工的孔；其中，所述外部夹具构件具有在内边缘中终止的内部部分，其中，所述内部部分与所述内部夹具构件间隔开。 | ||
| 申请公布号 | CN105575874A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201510716178.0 | 申请日期 | 2015.10.29 |
| 申请人 | SPTS科技有限公司 | 发明人 | 安东尼·巴克;海尤玛·阿什拉夫;布莱恩·基尔南 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 邬志岐;武晨燕 |
| 主权项 | 一种用于在等离子体加工室中将基底的外周部分夹紧到支撑件上的夹具组件，所述等离子体加工室为RF偏压功率在所述基底的等离子体加工期间被施加到所述支撑件上的类型的等离子体加工室，所述夹具组件包括：外部夹具构件；以及内部夹具构件，所述内部夹具构件被所述外部夹具构件所容纳，所述内部夹具构件限定了将所述基底暴露于等离子体加工的孔；其中，所述外部夹具构件具有在内边缘中终止的内部部分，其中，所述内部部分与所述内部夹具构件间隔开。 | ||
| 地址 | 英国新港 | ||