| 发明名称 | 复合掩膜板及其制造方法、复合掩膜板组件 | ||
| 摘要 | 一种复合掩膜板的制造方法、复合掩膜板及复合掩膜板组件，复合掩膜板的制造方法包括：提供支撑片材(12)，所述支撑片材(12)具有第一表面(21)和与所述第一表面(21)相对的第二表面(11)；在支撑片材(12)的第一表面(21)通过电铸工艺生长出掩膜图案(31)，其中掩膜图案(31)具有多个第一开口(32)；在支撑片材(12)的与第一表面(21)相对的第二表面(11)形成多个第二开口(121)，其中第二开口(121)与第一开口(32)连通，进而形成掩膜通道。通过上述方式，能够使得掩膜图案(31)上的第一开口(32)尺寸可以做的更小，掩膜图案(31)更加精细，从而可以提高最终的OLED产品的分辨率。 | ||
| 申请公布号 | CN105579610A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201480000657.6 | 申请日期 | 2014.07.21 |
| 申请人 | 安徽省大富光电科技有限公司 | 发明人 | 孙尚传 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C16/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人 | 何青瓦 |
| 主权项 | PCT国内申请，权利要求书已公开。 | ||
| 地址 | 233000 安徽省蚌埠市高新区东海大道6525号 | ||