一种石英晶片承载治具

摘要

本申请公开了一种石英晶片承载治具，包括：晶片载篮、载篮上盖、中心柱、旋转托台以及米字转盘，其中，晶片载篮上设有多个凸出的卡销，载篮上盖上设有分别与每个卡销的位置对应的定位孔，载篮上盖通过所述卡销与晶片载篮连接；晶片载篮由其中心通孔，穿过米字转盘的支柱端头并与米字转盘连接；旋转托台由其中心通孔，穿过中心柱并落在中心柱的底端；米字转盘由其中心通孔，穿过中心柱并落在中心柱的柱体上；晶片载篮上有多个呈阵列分布的圆柱形的载孔，载篮上盖有多个分别与每个载孔的位置相对应的导流孔。采用本申请提供的石英晶片承载治具，可以对多个石英晶片进行均匀清洗，并使清洗后的石英晶片表面残留更容易干燥。

主权项

一种石英晶片承载治具，其特征在于，包括：晶片载篮、载篮上盖、中心柱、旋转托台以及米字转盘，其中，晶片载篮上设有多个凸出的卡销，载篮上盖上设有分别与每个卡销的位置对应的定位孔，载篮上盖通过所述多个卡销与晶片载篮连接；晶片载篮由其中心通孔，穿过米字转盘的支柱端头并与米字转盘连接；旋转托台由其中心通孔，穿过中心柱并落在中心柱的底端；米字转盘由其中心通孔，穿过中心柱并落在中心柱的柱体上；晶片载篮上有多个呈阵列分布的圆柱形的载孔，且圆柱的一端直径大于另一端的直径；载篮上盖有多个分别与每个载孔的位置分别相对应的导流孔，且导流孔的直径小于石英晶片的宽度。