发明名称 |
薄膜晶体管及其制作方法、显示基板和显示装置 |
摘要 |
本发明涉及一种薄膜晶体管,包括:栅极;栅绝缘层,设置在栅极之上;第一有源层,设置在栅绝缘层之上;第二有源层,设置在第一有源层之上,长度小于第一有源层的长度;源极,设置在第一有源层之上,且与第二有源层的第一侧面相接触;漏极,设置在第一有源层之上,且与第二有源层的第二侧面相接触。通过本发明的技术方案,在有源层导通时,与导电底面相连的两个侧壁为第一有源层的两个侧壁,而在整个有源层的厚度与现有技术中有源层的厚度相同时,第一有源层的厚度小于现有技术中有源层的厚度,也即第一有源层的两个侧壁高度小于现有技术中有源层的两个侧壁的高度,因此相对于现有技术中有源层两个侧壁的电阻更小,从而提高了开态电流。 |
申请公布号 |
CN105576038A |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
申请号 |
CN201610019045.2 |
申请日期 |
2016.01.12 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
发明人 |
苏同上;周斌;王东方;袁广才 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/34(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李相雨 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,其特征在于,包括:栅极;栅绝缘层,设置在所述栅极之上;第一有源层,设置在所述栅绝缘层之上;第二有源层,设置在所述第一有源层之上,长度小于所述第一有源层的长度;源极,设置在所述第一有源层之上,且与所述第二有源层的第一侧面相接触;漏极,设置在所述第一有源层之上,且与所述第二有源层的第二侧面相接触。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |