| 发明名称 |
一种丙烯酸酯共聚物及其制成的248nm光刻胶组合物 |
| 摘要 |
本发明公开了一种自由基共聚聚合法制备的248nm深紫外光刻胶用丙烯酸酯共聚物，属于光刻胶领域。该丙烯酸酯共聚物主要是以对乙酰氧基苯乙烯(ASM)、2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAM)、丙烯酸叔丁酯(TBA)、丙烯酸四氢呋喃酯(TA)为共聚单体，在引发剂存在下进行自由基共聚，制得丙烯酸酯共聚物，再加入一定量的甲醇钠和甲醇进行醇解，得到的共聚物最终应用在248nm光刻胶中。本发明制备方法简单，反应条件温和，所制备的共聚物适用于248nm光刻胶。 |
| 申请公布号 |
CN105566552A |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
| 申请号 |
CN201610124285.9 |
申请日期 |
2016.03.04 |
| 申请人 |
江南大学 |
发明人 |
刘敬成;徐文佳;李虎;刘仁;袁妍;刘晓亚 |
| 分类号 |
C08F212/14(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;C08F8/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I |
主分类号 |
C08F212/14(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种丙烯酸酯共聚物，其特征在于该共聚物所含组分及各组分所占的质量分数为：<img file="FDA0000934680800000011.GIF" wi="1198" he="551" /> |
| 地址 |
214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号 |
