基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池

摘要

一种用于可见光波段(300-800nm)的基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池，该太阳能电池的顶部减反薄膜厚度为55～60纳米，中间的光栅吸收层周期为505～515纳米、厚度和占空比分别为95～105纳米、0.7～0.75，波导吸收层的厚度为45～55纳米。当光垂直入射时，其在300-800nm波段的平均积分吸收效率高于66％，并且平均积分吸收效率有着很大的角度无关性，其在0-66°的入射角范围内高于60％。本发明基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。

主权项

一种用于可见光波段的基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池，其特征在于，包括由上至下的减反薄膜(2)、光栅吸收层(3)和波导吸收层(4)，所述的减反薄膜的厚度为55～60纳米，所述的光栅吸收层的周期为505～515纳米、厚度为95～105纳米、占空比为0.7～0.75，所述的波导吸收层的厚度为45～55纳米。