| 发明名称 | 微粒污染物测量方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种微粒污染物测量方法和设备。该方法例如包括：将聚氨酯弹性体(2)的测量表面(5)压靠待测的表面(7)；从该表面移除聚氨酯弹性体而不留下残余物；随后，使用光学设备(11)检测已经通过聚氨酯弹性体从该表面移除并且已经附着至聚氨酯弹性体的微粒(8)。 | ||
| 申请公布号 | CN104204954B | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201380018477.6 | 申请日期 | 2013.03.28 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司;荷兰国家应用科学研究院 | 发明人 | A·德乔恩;J·范德东克 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 吴敬莲 |
| 主权项 | 一种微粒污染物测量设备，包括载体承载的聚氨酯弹性体层，所述载体配置成允许聚氨酯弹性体的测量表面压靠待测的表面并且随后被移除。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||