氧化锌压敏电阻器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化锌压敏电阻器，包括氧化锌压敏陶瓷基片、电极层、电极引线，所述电极层分别设置在氧化锌压敏陶瓷基片的上下表面，电极层上分别设置有电极引线，其特征在于，所述电极层包括用于提高氧化锌压敏陶瓷基片与电极层的结合力、降低接触电阻的底层过渡层。使得电极层与氧化锌压敏陶瓷基片结合牢固，提高了电极层本身的通流能力。进一步的，所述电极引线是使电流均匀地分布在电极层上的曲线电极引线。增强了氧化锌压敏电阻器的耐浪涌冲击能力；整个制备过程绿色环保，可比现有技术降低耗能45%以上，生产成本可比现有技术节省60%以上。

主权项

一种制备氧化锌压敏电阻器的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将高温烧结好的氧化锌压敏陶瓷基片放入球磨机中滚动水洗15‑60分钟，然后依次在自来水和去离子水中超声清洗10‑20分钟，离心甩干后并120‑200℃烘干；2）将清洗烘干后的氧化锌压敏陶瓷基片装入掩膜夹具中，然后将掩膜夹具装到工件架上，所述掩膜夹具由铝合金或不锈钢或高分子材料制成，掩膜夹具的掩膜形状和大小根据氧化锌压敏陶瓷基片的形状和大小来制作；3）将工件架送入多靶溅射镀膜设备内，并将设备腔体抽真空，使腔体内真空度达到10^‑3Pa数量级时，向真空腔体中充入高纯度氩气，动态维持真空腔内氩气的压力在2×10^‑1Pa—8×10^‑1Pa范围内；4）当制备包括底层过渡层、中间阻挡层和表面焊接层的氧化锌压敏电阻器时：在多靶溅射镀膜设备腔体内依次双面溅镀底层过渡层，材料为镍或铬或钛或铝或铜或其合金的一种，厚度为50—500nm，中间阻挡层，材料为镍或铬或铜或其合金的一种，厚度为300‑4000nm，表面焊接层，材料为金或银或铜的一种，厚度为200—2000nm，溅射完成后，取出工件；5）当制备仅包括底层过渡层和表面焊接层的氧化锌压敏电阻器时：在多靶溅射镀膜设备腔体内依次双面溅镀底层过渡层，材料为镍或铬或钛或铝或铜或其合金的一种，厚度为20—500nm，表面焊接层，材料为金或银或铜的一种，厚度为400—5000nm，溅射完成后，在表面焊接层表面进行防氧化工艺处理，取出工件；6）在氧化锌压敏电阻器的表面焊接层焊接上曲线电极引线，包封好后对氧化锌压敏电阻器的性能进行测量。