| 发明名称 | 一种基片涂胶吸盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型的一种基片涂胶吸盘，一种基片涂胶吸盘，由吸盘主体、基片定位柱、以及密封圈组成，所述基片涂胶吸盘上表面刻有凹槽，在所述吸盘主体上表面靠近端部的位置设置有所述基片定位柱，所述吸盘主体中间设置有柱状的卡套，其中密封圈位于卡套内。在旋涂胶时，使用该基片涂胶吸盘代替常规的卡槽式吸盘，高速旋涂时脱片率低、涂胶均匀性高且设备磨损较小。 | ||
| 申请公布号 | CN205229664U | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201521109920.3 | 申请日期 | 2015.12.28 |
| 申请人 | 福建中科晶创光电科技有限公司 | 发明人 | 梁万国;李广伟;陈怀熹;张新汉;陈立元;缪龙;冯新凯;邹小林 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人 | 徐开翟 |
| 主权项 | 一种基片涂胶吸盘，其特征在于，由吸盘主体（101）、基片定位柱（102）、以及密封圈（103）组成，所述基片涂胶吸盘上表面刻有凹槽（104），在所述吸盘主体（101）上表面靠近端部的位置设置有所述基片定位柱（102），所述吸盘主体（101）中间设置有柱状的卡套（105），其中密封圈（103）位于卡套（105）内。 | ||
| 地址 | 350108 福建省福州市闽侯县上街镇海西高新技术产业园中科院海西研究院工作区3号楼726室 | ||