沉积罩

摘要

沉积罩，包含底板、第一侧板、第二侧板、第一出气板、第二出气板以及多个支撑件。底板是沿长度方向延伸，并具有第一侧边与第二侧边，第一侧板是从第一侧边处沿第一侧向延展方向延伸至第一侧板侧边，并在与第一侧边相连接处形成第一转接区域；第二侧板是从第二侧边处沿第二侧向延展方向延伸至第二侧板侧边，并在与第二侧边相连接处形成第二转接区域。第一出气板与第二出气板系分别自第一侧板侧边与第二侧板侧边延伸出。多个支撑件系分别设置于第一转接区域与第二转接区域，使底板分别固接连结于第一侧板与第二侧板。

主权项

一种沉积罩，包含：一底板，系沿一长度方向延伸，并具有沿该长度方向延伸之一第一侧边与一第二侧边；一第一侧板，系自邻接于该第一侧边处沿垂直于该长度方向延伸之一第一侧向延展方向延伸至一第一侧板侧边，并在与该第一侧边相连接处形成一第一转接区域；一第二侧板，系自邻接于该第二侧边处沿垂直于该长度方向延伸之一第二侧向延展方向延伸至一第二侧板侧边，并在与该第二侧边相连接处形成一第二转接区域；一第一出气板，系自该第一侧板侧边背向该第二侧板侧边延伸出，该第一出气板包含复数个第一通气孔；一第二出气板，系自该第二侧板侧边背向该第一侧板侧边延伸出，该第二出气板包含复数个第二通气孔；以及复数个支撑件，系分别设置于该第一转接区域以及该第二转接区域，其中设置于该第一转接区域之该支撑件系与该底板及该第一侧板固接，设置于该第二转接区域之该支撑件系与该底板及该第二侧板固接。