发明名称 VACUUM SYSTEM
摘要
申请公布号 EP2975268(A3) 申请公布日期 2016.05.11
申请号 EP20150174432 申请日期 2015.06.30
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 STOLL, TOBIAS;WATZ, ROBERT;SCHWEIGHÖFER, MICHAEL
分类号 F04D19/04;F04D29/08;F04D29/52 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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