用于气相色谱的整合流体系统

摘要

本发明提出一种制造用于气相色谱仪的流体系统的方法。方法包括：用第一掩模在基材上微制造气相色谱仪的流体系统的一部分；用第二掩模微制造气相色谱仪的流体系统的一部分；并且用第三掩模微制造气相色谱仪的流体系统的一部分，使得第一掩模、第二掩模和第三掩模彼此不同，且微制造气相色谱仪的流体系统只用第一掩模、第二掩模和第三掩模完成。一种气相色谱仪，其中微制造的Knudsen泵布置以第一方向操作，以将载气吸入预浓缩器，并以第二方向操作，以将气体吸出预浓缩器。

主权项

一种微制造具有至少三个组件的气相色谱仪的流体系统的方法，所述方法包括：用第一掩模在基材上微制造气相色谱仪的流体系统的一部分；用第二掩模微制造气相色谱仪的流体系统的相同或不同部分；和用第三掩模微制造气相色谱仪的流体系统的相同或不同部分，其中所述第一掩模、第二掩模和第三掩模彼此不同，且微制造气相色谱仪的流体系统只用所述第一掩模、第二掩模和第三掩模完成。