摘要 |
대형의 피착체(W)를 사용한 경우에도, 비교적 단시간에 효율좋게 필름의 오버레이 성형을 실시한다. 상부가 개구된 수용챔버(21)와 하부가 개구된 상부 박스(22)를, 가식필름(F)을 끼운 상태에서 상하로 조합시키고, 상부 수용공간(S21,22S)들이 연결된 성형공간을 밀폐 형성하고, 이 성형공간의 상하를 각각 압력 제어함으로써, 성형공간내에 수용된 피착체(W)의 일부 표면에 가식필름(F)를 감압 밀착시킨다. 수용챔버(21)는 피착체(W) 중 소정의 부분성형부분(WP)을 해당 부분의 내측으로부터 측면주위를 덮는 오목형 형상의 지지 지그로 이루어지고, 지지 지그로 둘러싼 부분만을 부분진공형성한다. |