| 发明名称 |
一种用于承载硅片的一体式花篮 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种用于承载硅片的一体式花篮，其为框式结构，其顶部为全开口，所述花篮的两侧分别设有承载硅片的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽和第二卡槽之间还设有第三卡槽，所述第一卡槽和第三卡槽的一侧组成一个硅片承载区域，所述第二卡槽和第三卡槽的另一侧组成另一个硅片承载区域。本实用新型通过第一卡槽和第三卡槽的一侧组成一个硅片承载区域，第二卡槽和第三卡槽的另一侧组成另一个硅片承载区域，两个承载区域组成了双篮一体式花篮，左右两个承载区域通过第三卡槽衔接成一体，在保证花篮刚度和硬度的前提下，有效增加装放硅片的容量，相较传统花篮，容量增加一倍。 |
| 申请公布号 |
CN205231025U |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
| 申请号 |
CN201520987952.7 |
申请日期 |
2015.12.03 |
| 申请人 |
钧石(中国)能源有限公司 |
发明人 |
李鹏飞;王树林;林少华;陈剑雨;杨谢行 |
| 分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种用于承载硅片的一体式花篮，其特征在于：所述花篮为框式结构，其顶部为全开口，所述花篮的两侧分别设有承载硅片的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽和第二卡槽之间还设有第三卡槽，所述第一卡槽和第三卡槽的一侧组成一个硅片承载区域，所述第二卡槽和第三卡槽的另一侧组成另一个硅片承载区域。 |
| 地址 |
362000 福建省泉州市鲤城区常泰街道仙塘社区 |
